太陽能硅片的清洗很重要,它影響電池的轉換效率,如器件的性能中反向電流迅速加大及器件失效等。因此硅片的清洗很重要,下面鄂爾多斯太陽能主要介紹清洗的作用和清洗的原理。
清洗的作用
1、在太陽能材料制備過程中,在硅表面涂有一層具有良好性能的減反射薄膜,有害的雜質離子進入二氧化硅層,會降低絕緣性能,清洗后絕緣性能會更好。
2、在等離子邊緣腐蝕中,如果有油污、水氣、灰塵和其它雜質存在,會影響器件的質量,清洗后質量大大提高。
3、硅片中雜質離子會影響P-N結的性能,引起P-N結的擊穿電壓降低和表面漏電,影響P-N結的性能。
4、在硅片外延工藝中,雜質的存在會影響硅片的電阻率不穩定。
清洗的原理
要了解清洗的原理,首先需了解雜質的類型,雜質分為三類:一類是分子型雜質,包括加工中的一些有機物;二類是離子型雜質,包括腐蝕過程中的鈉離子、氯離子、氟離子等;三是原子型雜質,如金、鐵、銅和鉻等一些重金屬雜質。目前常用的清洗方法有:化學清洗法、超聲清洗法和真空高溫處理法。
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